A new laser-plasma X-ray source for microscopy and lithography

Abstract: Popular Abstract in Swedish Avhandlingen beskriver en ny typ av kompakt röntgenkälla baserad på ett laser-producerat plasma (LPP). I motsats till konventionella LPP används inte fasta material som strålmål för den fokuserade laserstrålen. I stället används mikroskopiska vätskedroppar eller vätskestrålar. Detta medför en mycket väsentlig minskning av det skräp (debris) som skickas ut från plasmat. Vissa vätskor resulterar i en fullkomligt "ren" källa. Den nya källan har flera olika tillämpningsområden. Den kan t.ex. användas för röntgenmikroskopi som tillåter högupplösande studier på biologiska preparat i en naturlig våt miljö. En annan tillämpning är röntgenlitografi. Denna teknik gör det möjligt att tillverka integrerade kretsar som är mindre än de som görs idag.